
在芯片制造领域,不同材料层之间存在的粗糙连接结构,长期以来严重阻碍了热量的有效传导,成为制约器件性能提升的核心障碍。
近期,由郝跃院士与张进成教授领衔的研究团队取得重要进展。他们开发出一项创新技术,成功将原本粗糙不平的“岛状”界面,改造为原子级别的平整“薄膜”结构。这一变革显著提升了芯片的散热能力,并带来了器件性能的飞跃。这项为半导体材料的高质量集成提供了全新解决方案的成果,已发表于国际权威期刊《自然·通讯》与《科学进展》。
团队负责人张进成教授解释道,传统半导体芯片中晶体成核层的表面起伏不定,这直接影响了散热效率。热量若无法及时散出,会形成局部高温区域,不仅导致芯片性能衰减,严重时还可能造成器件永久性损坏。自相关成核技术获得诺贝尔奖认可以来,这一界面散热难题始终未能得到根治,一直是限制射频芯片功率提升的关键因素。
研究团队首创了“离子注入诱导成核”技术,通过该方法,将材料生长过程中原本随机、不均匀的成核模式,转变为精准、可控的均匀生长。实验数据表明,采用新结构形成的界面,其热阻值仅为传统结构的三分之一。
基于此项技术制备出的氮化镓微波功率器件,性能表现卓越。在X波段和Ka波段,其输出功率密度分别达到了每毫米42瓦和每毫米20瓦,将国际同类器件的性能纪录提升了30%至40%。这一突破意味着,在芯片面积不变的情况下,相关电子设备的探测距离可以大幅增加,通信基站的覆盖范围也将更广,同时能耗得以降低。


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