超小型精密零件的加工方式

超小型精密零件的加工是现代技术发展发展的一种新工艺，要用到现代电子技术、测量技术和计算机技术中先进的控制、测试手段等，让机械加工的精度向纳米级甚至亚纳米级发展。

1、超小型精密机械加工技术指标为精度1—0.1μm，表面粗糙度值为：Ra0．3-0.03μm；亚微米加工；（1微米=0.001mm）,纳米加工精度高于 0.03 μ m，表面粗糙度值小于  Ra 0.005μ m。

2、超精密机械加工的方法：

3、超精密加工工艺：

切削加工：使用精密的单晶天然金刚石刀具加工有色金属和非金属，可以直接加工出超光滑的加工表面(粗糙度Ra0.02～0.005μm，加工精度<0.01μm)。主要用于加工：陀螺仪、激光反射镜、天文望远镜的反射镜、红外反射镜和红外透镜、雷达的波导管内腔、计算机磁盘、激光打印机的多面棱镜、录像机的磁头、复印机的硒鼓、菲尼尔透镜等。

磨削研磨加工：工件被磨削的表层，在无数磨粒瞬间的挤压，摩擦作用下产生变形，而后转为磨屑，并形成光洁表面的过程。磨削过程可分为：三个阶段，砂轮表面的磨粒与工件材料接触，发生弹性变形，磨粒继续切入工件（切削深度增加），工件材料进入塑性阶段，材料晶粒发生滑移。塑性变形不断增大，当力达到工件的强度极限时，被磨削层材料产生挤裂，即进入切削阶段，最后被切离。当磨削切入量达到最大值后，逐渐减少，最后到零，同时经历塑性区和弹性区。

电子束加工：通过一极或多极汇聚形成高能束流，经电磁透镜聚焦后轰击工件表面，由于高能束流冲击工件表面时，电子的动能瞬间大部分转变为热能。由于光斑直径极小(其直径在微米级或更小)，在轰击处形成局部高温，可使被冲击部分的材料在几分之一微秒内，温度升高到几千摄氏度以上，使材料局部快速汽化、蒸发而实现加工目的。所以电子束加工是通过热效应进行的。